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    发布时间: 2011-08-10
    集成传感器
    集成传感器
    集成传感器是新型传感器重要的发展方向之一。微加工技术可将敏感元件、测量电路、放大器及温度补偿元件等集成在一个芯片上,这样不仅具有体积小、重量轻、可靠性高、响应速度快、稳定等特点,而且便于批量生产,成本较低。在各种半导体材料中,以硅为基底材料的集成传感器发展最快。硅集成传感器是硅物理效应与平面技术相结合的产品,例如,集成温度传感器、霍尔集成电路及扩散硅压力传感器等。采用集成传感器可简化电路设计,减小产品体积,便于安装调试,提高可靠性并降低成本,因此,很多传感器都向集成方向发展。集成传感器己广泛应用于汽车、家用电器、医疗卫生及航空航天技术中。
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